「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業／先端半導体製造技術の開発（助成）」の採択事業者を決定しました （METI - 経済産業省

2021年3月23日

同時発表：新エネルギー・産業技術総合開発機構

「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業」のうち、「研究開発項目②先端半導体製造技術の開発（助成）」に関する実施者の公募を行い、採択審査委員会での審査を経て、1件の採択を決定しました。

1．事業目的

第4世代移動通信システム（4G）と比べてより高度な第5世代移動通信システム（5G）は、現在各国で商用サービスが始まりつつありますが、更に超低遅延や多数同時接続といった機能が強化された5G （以下、「ポスト5G」）は、今後、スマート工場や自動運転といった多様な産業用途への活用が見込まれており、我が国の競争力の核となり得る技術と期待されています。

本事業では、ポスト5Gに対応した情報通信システム（以下、「ポスト5G情報通信システム」）で必要となる先端半導体の製造技術の開発をすることにより、我が国のポスト5G情報通信システムの開発・製造基盤強化を目指します。

2．事業概要

先端半導体製造技術の開発（助成）

先端半導体製造プロセスのうち、前工程に係る製造技術（微細化（More Moore）技術）の開発を実施します。
具体的には、2nm以降のプロセスノードの先端半導体において求められる高性能な露光・微細加工技術、成膜技術、アニール技術、エッチング技術、洗浄技術等のうち、特に新規開発や大幅な性能向上が必要となる製造・プロセス技術等を開発するとともに、パイロットラインの構築等を通じて、微細加工を施した実ウェハーによる製造装置の評価・検証を実施し、国内に無い先端性を持つロジック半導体の製造技術を確立します。

3．採択結果

以下、採択結果一覧を御参照ください。

参考

担当

商務情報政策局
デバイス・半導体戦略室長 刀禰
担当者：齋藤、千田、池田、山瀬

電話：03-3501-1511（内線 3981～7）
03-3501-6944（直通）
03-3580-2769（FAX）

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March 23, 2021 at 09:07AM
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